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近期光刻机进口情况及直线电机与其关联

2023/10/11 8:11:06      点击:

据悉,进入2023年以来,荷兰光刻机制造商ASML向我国交付了数量可观的光刻机设备。


根据海关总署数据显示:20231-7月份,我国从荷兰进口的光刻机总额为25.86亿美元,同比增长64.8%,其中7月份进口额为6.26亿美元,同比增长近8倍。


虽然自91日起,荷兰迫于老美的压力,限制半导体方面的对华出口,但按照ASML的说法,ASML已经获得荷兰官方的允许,在2023年的剩余时间里,ASML将能继续出货其NXT:2000iDUV型号的产品,而这些产品此前在限制名单里。


说到光刻机,大家知道吗,直线电机在光刻机中已有应用,直线电机主要用在光刻机掩模台系统中,直线电机运动工况分为扫描运动和定位运动,其中扫描运动主要完成硅片曝光处理,该运动对定位精度以及速度稳定性有很高要求,在稳定基础上追求时间的优化。

直线电机

昆山同茂电子有限公司自研自产自销的直线电机具备高品质、长寿命等特点,在光刻机中已有实际应用案例,像上海微电子就是咱同茂的合作客户。


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