直线电机(直线马达)在光刻机上位移精度，芯片的集成度越来越高，大规模集成电路的线宽已进入超亚微米范围，同时也是对光刻机的技术要求越来越高，而光刻机的工作台和掩模台的运行精度、速度、加速度以及重复定位精度和扫描精度是影响光刻机的质量、套刻精度和生产率的主要因素，为了实现这种大行程、高速、高精度的运动控制要求，控制系统采用直线电机进行驱动。

　　直线电机(直线马达)的原理是：采用十字形长行程的直线电机(直线马达)粗动加洛伦兹电机高精密微动补偿结构，它的系统分为粗运动和微运动两个子系统。

　　直线电机(直线马达)采用全闭环控制方式可获得非常高的位移精度，它采用ＰＭＡＣ实现双闭环控制进给精度，内环为速度环，外环为位置环，这种伺服系统的位置安装在进给系统（运动平台）的Ｘ、Ｙ轴末端的执行部件上，实测它的位置或位移量，而安装在驱动电机端部的编码器则作为测速元件，构成速度环，直线电机(直线马达)驱动的精密位移机构选用光电转换原理工作的光栅，用置于直线电机(直线马达)上的光栅尺检测光刻机运动平台的实际位移，并将检测信息通过直线电机的编码器输出端口反馈给ＰＭＡＣ控制器，由控制器的ＰＩＤ调节器根据目标位移与实际位移的差值自动调节电机的控制参数，快速控制光刻机的运动平台运行，完成所需的进给，这样提高了系统的定位精度。

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